這是一個比較籠統(tǒng)的問題。因為就儀器不準(zhǔn)的原因來說是多種多樣的。單對涂層測厚儀來說，主要有下面幾種原因引起測量不準(zhǔn)確。
(1)強磁場的干擾。我們曾做過一個簡單實驗，當(dāng)儀器在1萬V左右的電磁場附近工作時，測量會受到嚴(yán)重的干擾。如果離電磁場非常近時還有可能會發(fā)生死機現(xiàn)象。
(2)人為因素。這中情況經(jīng)常會發(fā)生在新用戶的身上。涂層測厚儀之所以能夠測量到微米級就因為它能夠采取磁通量的微小變化，并把它轉(zhuǎn)化成為數(shù)字信號。在使用儀器測量過程中如果用戶對本儀器不熟悉就可能使探頭偏離被測機體，使磁通量發(fā)生變化造成錯誤測量。所以建議用戶朋友初次使用本儀器時，要先掌握好測量方法。探頭的放置方式對測量有很大影響，在測量中應(yīng)使探頭與試樣表面保持垂直。并且探頭的放置時間不宜過長，以免造成基體本身磁場的干擾。
(3)在系統(tǒng)矯正時沒有選擇合適的基體。基體zui小平面為7mm，zui小厚度為0.2mm，低于此臨界條件測量是不可靠的。
(4)附著物質(zhì)的影響。本儀器對那些妨礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質(zhì)敏感。因此必須清除附著物質(zhì)，以保證探頭與覆蓋層表面直接接觸。在進行系統(tǒng)矯正時，選擇的基體的表面也必須是裸露的、光滑的。
(5)儀器發(fā)生故障。此時可以和技術(shù)人員交流或者返廠維修。